石英玻璃基本上是不能透過氣體的。但氣體氦，氫，氘和氖可以滲透石英玻璃。滲透速度和溫度和氣體分壓有關。
氦的選擇性滲透是石英玻璃凈化氦的基本原理。氣體氦，氫，氘和氖的通過石英玻璃的滲透速度隨溫度增加而加快。
根據General Electric Research Laboratory的測試數據，幾種氣體在700 °C的擴散系數如下。

氦 2.1 x 10 -8 cc/sec/cm2/mm/cm.Hg
氫 2.1 x 10 -9
氘 1.7 x 10 -9
氖 9.5 x 10 -10
　
石英玻璃的透氣性比普通玻璃大的多，相當于派萊克斯玻璃的10倍，鈉鈣玻璃的300倍。
He在各種玻璃中的透過速度
石英玻璃        （300度） 3.15
派萊克斯玻璃（300度） 0.338
鈉鈣玻璃        （283度） 0.0098
鉛玻璃            （283度） 0.0037

單位：毫升*10-9常溫唱壓/秒/厘米2/毫米/厘米汞柱。

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